2026 · 수상·인증
- 합금 밀도
- 99%이상
- 코팅 경도
- 40GPa 이상
- 내열성
- 700°C
- 법인 특허 · 출원 포함
- 29건
코팅층 하나만 바꿔서는 성능이 바뀌지 않습니다. 소재와 접착층, 공정 조건이 함께 맞아야 합니다.
EMS는 AI 합금 설계와 맞춤형 합금 제조, 자체 장비를 활용한 플라즈마 코팅, 공인기관 검증을 연결합니다. 소재와 공정 데이터를 함께 축적해 고객 제품에 맞는 코팅 조합을 검토합니다.
AI 구조 개념도 · 층의 두께 비율은 설명을 위한 표현입니다.
- 01
AI 합금 설계
축적된 합금 설계 데이터와 AI로 목표 성능에 맞는 조성을 검토합니다.
- 02
분말·타겟 제조
다원소 합금 분말을 직접 제조하고 99% 이상 밀도의 타겟으로 만듭니다.
- 03
플라즈마 코팅
자체 개발한 ECS-950 장비로 제품 요구 특성에 맞춰 코팅합니다.
- 04
성능 검증
공인시험기관에서 경도·밀착력·마찰계수·내열성을 검증합니다.
PCB 마이크로 드릴
내부 비교시험에서 수명 최대 3배,
버 발생은 20% 넘게 줄입니다.
특정 조건의 내부 비교시험 결과입니다. 사업 기준 평균 수명은 2배이며, 실제 성능은 가공 조건에 따라 달라질 수 있습니다. EMS IR 2026.09.
플라즈마 세정 후 접착층, 응력완화층, 기능성 저마찰층을 순차 형성하는 2μm 이하 박막 다층 코팅입니다. 이온건 식각으로 표면을 평탄하게 만들어 마찰계수를 낮추고, 절삭날과 플루트 부위별로 두께와 조성을 따로 제어합니다.
- 표면 경도
- 40GPa 이상
- 마찰계수
- 0.1이하
- 다층 코팅 두께
- 2μm 이하
- 밀착력
- HF1수준
기술 콘셉트 이미지
기술 콘셉트 이미지반도체 ESC 히터 코팅
해외에 의존하던 고순도 합금 타겟을
직접 만들어 코팅합니다.
정전척(ESC) 히터는 300°C 고온, 플라즈마, 염소 가스 환경에서 웨이퍼 온도를 균일하게 유지해야 합니다. 밀도 99% 이상의 티타늄계 합금 타겟으로 코팅해 화학적 부식을 막고 스케일링과 오염물 축적을 줄입니다. 한국산업기술시험원(KTL) 검증을 마쳤습니다.
- 합금 밀도
- 99%이상
- 표면 경도
- 25GPa 이상
- 내열성
- 700°C
설계한 타겟을 직접 코팅하고
검증할 수 있는 자체 설비
설비 사양 보기
제공 이미지 기반 AI 재구성플라즈마 코팅 장비 ECS-950
Ø1,000 × H1,000 챔버 · 진공도 5.0×10⁻⁵ Torr · 공·자전 지그
제공 이미지 기반 AI 재구성챔버 내부 공·자전 지그
Shadow 효과를 최소화한 균일 Step Coverage
제공 이미지 기반 AI 재구성금속 분말 제조 라인
합금 분말 제조부터 MES 데이터 수집까지 자동화
EMS의 현장을 만나보세요.
인천광역시 남동구 고잔동 695 (주)이엠에스
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EMS가 쌓아온 주요 실적과 연혁
뿌리기술 전문기업, 소재·부품·장비 전문기업, 중소벤처기업부 장관상, 지식재산처장상, 국제 창업대회 우승까지. 법인 특허는 출원을 포함해 29건이며, 인증·수상·선정 실적과 별도로 집계합니다.
전체 인증·실적 보기
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인천광역시 남동구 고잔동 695 (주)이엠에스
010-9282-8868