
소재에서 시작해,
표면의 성능까지.
AI 합금 설계, 맞춤형 합금 제조, 플라즈마 코팅, 공인기관 검증. 소재와 공정 데이터를 연결해 제품이 요구하는 표면을 설계합니다.
합금 타겟·분말을 표현한 AI 기술 시각화
- 01
AI 합금 설계
축적된 합금 설계 데이터와 AI로 목표 성능에 맞는 조성을 검토합니다.
- 02
분말·타겟 제조
다원소 합금 분말을 직접 제조하고 99% 이상 밀도의 타겟으로 만듭니다.
- 03
플라즈마 코팅
자체 개발한 ECS-950 장비로 제품 요구 특성에 맞춰 코팅합니다.
- 04
성능 검증
공인시험기관에서 경도·밀착력·마찰계수·내열성을 검증합니다.
보유 코팅 공정
탄소기반 고경도·저마찰 코팅
40GPa 이상의 경도와 0.1 이하 마찰계수. 절삭공구, 금형, 습동 부품에 적용합니다.
다원소 고기능 코팅
Ti-Al-Si-Y 등 다원소 합금 타겟 기반. 내플라즈마성과 내열성이 필요한 반도체 부품에 적용합니다.
고정밀 나노 복합 코팅
3~100nm 단위로 두께를 제어하는 박막 다층 구조. 미세 절삭날의 형상을 유지합니다.
검증된 공정 능력
- 표면 경도
- 40GPa 이상
- 마찰계수
- 0.1이하
- 다층 코팅 두께
- 2μm 이하
- 밀착력
- HF1수준
납기는 기본 14일 이내, 재고 보유 시 3일 이내 대응합니다. 해외 코팅 업체의 4~8주 리드타임을 국내 생산으로 대체합니다.
자체 개발 플라즈마 코팅 장비, ECS-950
2024년 장비 국산화 사업으로 구축했습니다. 제공된 레시피만 쓸 수 있는 외산 장비와 달리 여러 공정 레시피를 자유롭게 적용할 수 있고, 카본계·금속계·세라믹계 코팅을 한 장비에서 처리합니다.
제공 사진 기반 AI 재구성공구를 공전·자전시켜 증착 방향에 따른 그림자 영역을 줄이고 균일한 코팅을 돕습니다.
- 챔버
- Ø1,000 × H1,000 mm, SUS304 (맞춤 제작)
- 진공도
- 5.0 × 10⁻⁵ Torr 이하
- 이온빔 소스
- 3,000 V – 1.0 A, 880 mm × 2 set
- 스퍼터링 소스
- 1,000 V – 8.0 A, 880 mm × 2 set
- 펌핑
- Rotary 350 m³/h · Booster 1,435 m³/h · Turbo 2,300 L/s
- 가스 제어
- MFC Ar × 2, C₂H₂ × 2, 다중 진공 게이지
- 지그
- 공·자전 회전으로 Shadow 효과 최소화, 균일 Step Coverage
- 코팅 영역
- 카본계 · 금속계 · 세라믹계, 레시피 자유 적용
2026년 장비 국산화 사업으로 탄소 기반 초경질·저마찰 코팅용 FCVA 장비를 추가 도입할 예정입니다.
제공 이미지 기반 AI 재구성카본계·금속계·세라믹계 코팅을 제품 특성에 맞춰 검토합니다.
제공 사진 기반 AI 재구성슬러리 온도, 베셀 압력, 밀 RPM 등 장비 운전 데이터를 MES로 수집해 레시피로 축적합니다.
PCB 마이크로 드릴
정밀한 절삭날을 지키는 2μm 이하 박막 다층 코팅.
AI 서버용 고다층 기판이 늘면서 미세 홀 가공량이 급증하고, 드릴은 더 빨리 마모됩니다. 코팅이 두꺼우면 날끝 형상이 무너지므로, 초박막·고밀착·저마찰·내마모를 동시에 만족하는 구조로 설계했습니다.
- 1플라즈마 세정이온건 식각으로 표면을 평탄하게 가공
- 2접착층기재와 코팅층의 결합력 확보, 박리 억제
- 3응력완화층다층 설계로 균열 전파 억제
- 4기능성 저마찰층수지·구리 소착 저감, 칩 배출성 개선
- 드릴 수명
- 최대 3배
- 버 발생
- −20%
- 다층 코팅 두께
- 2μm 이하
수명은 특정 조건의 내부 비교시험 기준이며, 사업 기준 평균은 2배입니다. 버 발생 감소와 성능은 가공 조건에 따라 달라질 수 있습니다. EMS IR 2026.09, p.3–4.
AI 기술 시각화날끝 형상을 유지하며 두께·조성을 맞추는 나노복합 코팅입니다.

층마다 다른 역할,
하나로 연결된 성능.
수지·구리의 소착을 줄이고 칩 배출을 돕습니다. 절삭날과 플루트의 요구 특성에 맞춰 두께와 조성을 제어합니다.
EMS IR 2026.09 · 2μm 이하 박막 다층 코팅
교체가 줄면,
가공은 더 오래 이어집니다.
비코팅 드릴로 60분 가공한 뒤 교체·재세팅에 10분이 걸린다고 가정하면, 수명 연장이 가동률에 미치는 영향을 비교할 수 있습니다.
- 드릴 소요량·교체 빈도
- 50.0% 감소
- 유효 가동률의 상대 향상
- 7.7%
가정 기반 계산 예시이며 실제 생산성 보장치가 아닙니다. 동일 가공량·일정한 교체 시간을 가정합니다. 수명 최대 3배는 특정 조건의 내부 비교시험 결과입니다.
AI 기술 시각화AlN·Si 웨이퍼에 적용하는 표면 코팅의 개념을 시각화했습니다.
반도체 ESC 히터 코팅
밀도 99% 이상, 경도 25GPa, 700°C 내열.
세 조건을 동시에 맞춥니다.
밀도를 올리면 열팽창 계수가, 밀착력을 올리면 경도가 무너지는 상충 관계를 합금 조성과 공정 조건으로 풉니다. 산소·질소 불순물 관리에 실패하면 코팅 결함으로 히터 수명이 급감하기 때문에, 분말 제조 단계부터 순도를 관리합니다.
- 사용 환경300°C · 플라즈마 · 염소 가스
- 주요 효과내식성 · 오염물 축적 감소 · 열적 안정성
- 검증한국산업기술시험원(KTL) 타겟 검증 완료
논문 12건, 법인 특허 29건에 축적된 코팅 기술
Zr계·Ti계 다원소 합금 타겟, 박막 금속유리, MoN-Cu·Ti-Al-Si-N 나노복합 박막, 플라즈마 처리와 마모 특성 연구를 거쳐 확보한 기술입니다.
법인 특허는 출원 포함 · 개인 특허 17건 별도 · 2026.09.09 기준
AI 구조 개념도 · 실제 관찰 이미지 아님코팅층과 모재의 관계를 분리해 시각화한 구조 개념도입니다.
AI 구조 개념도 · 실제 관찰 이미지 아님나노복합 조직의 미세구조를 이해하기 쉽게 표현한 개념 이미지입니다.
제품 도면과 목표 성능을 보내주시면 코팅 조합을 검토해 드립니다.
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